技术编号：3252172
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属气体混合离子注入机。背景技术 常规的表面处理技术，由于需要在高温环境下进行，因此会改变工件的外形尺寸和表面光洁度，使得热处理完后还需要再进行精加工，因而不能达到使用的要求，并且热处理层易发生表面脱皮及剥落现象。离子注入技术是近年来在国际上发展起来的一种材料表面改性高新技术，其基本原理是用能量为几十到几百keV量级的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并...
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