技术编号:3252244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线型沉积源,更具体而言,涉及这样一种线型沉积源,该线型沉积源能够通过使用板型加热源来提高加热效率并且降低加热温度,和/或能够通过在壳体中包括一个具有冷却水管线(或者通道)的冷却套来提高冷却效率。背景技术 总体而言,有几种在基板上形成薄膜的方式,包括物理汽相沉积(譬如真空蒸发法、离子镀法以及溅射法),和借助气体反应的化学汽相沉积。在譬如半导体器件、有机电致发光器件或者其它光学涂层之类的各种领域中,使用真空蒸发法来形成薄膜。在所述真空蒸发法中,使...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。