技术编号：3252273
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于各类刀刃具、模具的表面强化薄膜领域。特别是涉及一种利用磁控溅射技术合成薄膜的新工艺。背景技术 目前，在对各类刀刃具、模具的表面强化薄膜中，过渡金属氮化物薄膜是首选材料。主要是因为它们具有一定的高硬度、高的抗摩擦磨损性、和良好的化学稳定性。但是，它们同时也具有高脆性、高残余应力、与基体结合力差等缺陷，从而大大影响了它们的应用范围。在实际的应用中，若想让它们进一步改善性能，即提高硬度、提高耐磨性能、与基体结合力、并兼顾有低脆性、相对低的应力以及高厚度...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。