技术编号:3252997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金刚石涂层,特别是提供了一种利用直流电弧等离子体化学气相沉积法进行金刚石涂层时的温度测量装置,利用它可在对硬质合金工具表面涂敷金刚石涂层时测量涂层沉积温度,并使得沉积温度的控制成为可能。背景技术以化学气相沉积(CVD)方法制备的金刚石涂层具有许多独特的特性,如高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高热导率、宽光学透过波段、高介电性能、高化学惰性等,是一种极为优异的多功能材料,在国民经济的各个领域中有着广泛的应用前景。将金刚石作为涂层制成的硬质合金金刚石...
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