技术编号：3253409
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,驱动的方法及离子电镀设备的制作方法本发明涉及一种，驱动的方法及离子电镀设备。背景技术 离子电镀设备中使用各种类型的蒸发源。这种蒸发源中的一种是电弧蒸发源。在使用电弧蒸发源的离子电镀设备中，当该设备启动后，在作为电弧蒸发源的阴极和阳极之间产生电弧，阴极材料在阴极的电弧点处熔融蒸发，从阴极移向阳极的电子使蒸发的阴极材料离子化，而离子化的阴极材料附着并沉积在固定于基片座上的基片表面上。从而由阴极材料构成的薄膜就这样形成在基片表面上。理想的是，在离子电镀设备中，...
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