技术编号：3254465
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明概括地涉及用于从等离子束中移除大粒子的过滤器。本发明还涉及用于从等离子束中移除大粒子的方法和电弧沉积设备。背景技术电弧沉积技术已被通常用于生产超硬涂层和纳米复合涂层。然而，已知电弧沉积技术会在等离子束内产生大粒子。这些大粒子消极地影响所获得的涂层的质量，因此期望減少最終涂覆于基底的表面的等离子束中所存在的大粒子的量。现有技术中已经教导公知的从等离子束过滤大粒子的方法。例如，在已知的ー个方法中，等离子束被导引穿过管道的逐渐缓和的弯曲部分以试图从等离子束...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。