技术编号:3254614
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可适用于需要导电性与耐磨损性、以及耐热性的各种部件的。特别涉及适于对用于测定半导体、电子零件材料的电气特性等的探针(探头)进行表面处理、对设置在燃料电池的阳极与阴极之间的隔膜进行表面处理、对阴极电子发射元件进行表面处理等的导电性硬质碳膜。背景技术近年来,具有导电性的DLC (类金刚石碳)被用作用于测定半导体以及各种电子零件材料的电气特性的探针(探头)。以往,作为这种探头,使用在铍铜构成的基材上包覆镀金的物质,但具有如下所示的问题。(I)用于半导体...
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