技术编号：3254761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，用于去除扩散后硅片表面产生的磷硅玻璃，以及花篮印、白线条、水痕印的去除，属于太阳能晶硅电池片制造领域。背景技术太阳能电池片生产过程中，将硅片在扩散后形成一层含有磷和二氧化硅的磷硅玻璃层彻底清洗干净是提高晶体硅太阳电池效率的途径之一，但现有的氢氟酸体系对磷硅玻璃的清洗过程中有很大不稳定性，采用慢提拉处理的槽式去磷硅设备在硅片清洗过程中由于小花篮锯齿处难以拉干，导致与花篮锯齿处接触的硅片表面附着水，在烘干时再次被氧化，形成花篮印，镀膜后呈现明显的花...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。