技术编号:3254894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对位辅助板,这种对位辅助板具体应用于掩模组件的间接对位过程。背景技术有机电致发光元件(OLED )因其视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率高及自备发光等特点,备受关注,并被视为使下一代的平面显示器新兴应用技术。在制造有机电致发光元件的真空蒸镀装置方面,在底部设置盛放有机材料的坩埚,在坩埚的外面设置使用有机材料加热、蒸发的加热器。在蒸镀装置中,设置与坩埚相对配置的夹头以及包夹玻璃基板的绝缘部件而使该基板安装保持在夹头的底面的基板夹具。夹头是用于...
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