技术编号:3255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种测量和测试装置。随着光学技术的迅速发展,对光学系统的要求也越来越高,为了制造一个高质量的光学系统,除了其它各项参数要求外,对光学系统中各光学元件的厚度及其表面粗糙度的要求也越来越高,它们的厚度制造误差往往只有几微米。至今国内对光学元件厚度传统的测量方法是接触式测量。由于量具测量头和被测件之间的衬垫物有弹性变形,不能保证有高的测量精度也易于损伤光学表面的光洁度。日本鹤田君(Tsuruta)曾提出利用补偿色散的迈克尔逊(Michelson)干涉仪白光牛顿环定位方法来测量透镜的厚度,在干涉仪的一臂上装上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。