技术编号:3256309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及铪中所含有的锆、氧、硫和磷等杂质的含量降低的高纯度铪材料、由该 高纯度铪材料形成的靶和薄膜以及。背景技术 目前为止,有很多关于铪的制造的文献,但是,铪与锆在原子结构和化学性质方面 非常类似,如下所例示地,无论是含有锆,还是锆中含有铪,都没有真正看成是问题。 铪和锆耐热性、耐蚀性优良,并且具有与氧和氮等的亲和力大的特性。并且,它们 的氧化物或氮化物在高温下具有优良的稳定性,因此作为核陶瓷、钢或铸件的制造领域的 耐火材料使用。另外,最近作为电子材料...
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