技术编号:3257336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体领域,特别涉及在硅衬底上制备大孔径薄壁阳极氧化铝模板的方法。背景技术铝及其合金在硫酸、草酸、磷酸等电解液中进行阳极氧化可在表面形成具有多孔结构的氧化铝薄膜,在其微孔中填入不同的物质可以得到各种表面复合材料,用以改善铝 及铝合金材料的表面性能,或者可以用来作为制备ー维纳米材料或者纳米阵列的模板,即阳极氧化铝(AAO)模板。目前国内外阳极氧化采用的电解液主要为硫酸溶液和草酸溶液,制得的AAO模板孔径较小,仅为数纳米到数十纳米。采用磷酸作为电解液...
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