技术编号:3257487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种真空镀膜机,具体来说是ー种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机。背景技术随着激光技术的不断发展,以准分子激光器、自由电子激光器以及全固态真空紫外激光器为代表的深紫外/真空紫外激光光源相继出现。这些深紫外/真空紫外激光光源在微电子器件制造、微机械加工、纳米材料处理和生物医学工程等领域都有着非常广阔的应用前景。深紫外/真空紫外激光光源的快速发展及其广泛应用对薄膜光学元件提出 了迫切的需求。以半导体制造产业为例,性能优良的薄膜光学元件应该能承受IOi...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。