板状体的研磨装置及板状体的研磨方法技术资料下载

技术编号:3258158

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本发明涉及。背景技术目前,用于液晶显示器等的FPD (FLAT PANEL DISPLAY)用的玻璃基板,通过利用被称为浮法的玻璃制法将熔融玻璃成形成板状, 并将该板状玻璃使用例如专利文献I等公开的连续式研磨装置进行研磨而制造的。根据该制造方法,通过研磨除去玻璃基板表面的微小的凹凸或起伏,能够制造成满足液晶显示器用玻璃基板所要求的平面度的厚约0. I I.Imm的薄板。另外,在连续式研磨装置中,通常利用进行自转、公转或自转公转的研磨垫,来研磨玻璃基板的研磨...
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