技术编号:3258175
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种极窄回滞曲线宽度高电阻温度系数二氧化钒(VO2)薄膜制备方法,属于VO2薄膜制备工艺。背景技术红外焦平面是红外探测器的核心部件,红外探测器产品可以实现夜间、浓烟、云层、浓雾等能见度极低条件下的视觉增强。红外探测器根据其敏感面是否需要制冷分为制冷型红外探测器和非制冷红外探测器。制冷型红外探测器的优势在于灵敏度高,能够分辨更细微的温度差别,探测距离较远,主要应用于高端军事用途。非制冷红外探测器较制冷型省去了制冷装置,探测器体积小、功耗低、价格低、...
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