技术编号:3258582
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种精密加工技术,尤其是一种抛光加工,具体地说是一种提高精密抛光加工速度和工件表面质量的方法及装置。背景技术众所周知,抛光是一种精密、超精密加工过程,广泛用于多种材料的终道加工。抛光区域的环境是非常重要的因素,如环境湿度、湿度、气压等,影响抛光的材料去除和表面质量。目前普遍使用的各类抛光机,在工作时多处于全开放式的环境中,无法避免外界环境中的粉尘、温度、湿度、气压对抛光质量的影响。若抛光环境混入较大的粉尘,工件表面就会形成划痕等损伤。环境温度及湿...
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