技术编号:3259277
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。背景技术溶胶凝胶主要是金属有机或无机化合物经过溶胶一凝胶化和热处理形成氧化物或其他固体化合物的方法。通过溶胶凝胶法制备二氧化硅薄膜具有独特的优点,其成本低廉,各制备步骤易于控制。溶胶凝胶法制备过程中,各组分间的反应在分子间进行,因而产物粒径小、均匀性高,最终所得的二氧化硅薄膜机构致密,明显好于其他方法,如PECVD等。同时,反应是在低温下进行,避免高温杂相的出现,因而产物的纯度较高。溶胶凝胶制备二氧化硅薄膜在许多方面都用应用,如通过在溶胶中掺入...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。