技术编号：3259687
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种喷淋型铝合金化学蚀刻液，尤其是关于一种使蚀孔光亮完整、蚀刻效率高、生产成本低的喷淋型铝合金化学蚀刻液。背景技术铝是一种轻金属，密度小，是半导体制程中最主要的导线材料，它具有低电阻、易于沉积及蚀刻等优点。铝的导电性仅次于银和铜，居第三位，用于制造各种导线。铝具有良好导热性，可用作各种散热材料。铝还具有良好抗腐蚀性能及塑性，适合于各种压力加工。在铝蚀刻中，化学反应主导着蚀刻的进行，增加氯化物的含量则蚀刻速率可增加，但蚀刻速率却与离子轰击程度无关...
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