技术编号:3259771
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子束抛光技木,尤其涉及。背景技术离子束抛光是高精度光学元件确定性加工的一种新技木,它基于低能离子直接轰击光学镜面时的物理溅射效应实现光学元件表面材料的去除。入射离子通过级联碰撞将能量传递给光学元件表面原子,当光学元件表面原子获得的能量足以克服表面束缚能时,便以原子形式从エ件表面脱离出来,因此离子束抛光拥有纳米量级的加工精度。当低能离子束以可变的速度或驻留时间结合特定的路径扫过光学元件表面,从而精确地修正光学表面的局部面形误差。高确定性、高稳定性...
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