技术编号:3259793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于功能性晶体超精密加工,尤其涉及一种KDP晶体的确定性抛光加工装置及加工方法。背景技术KDP (磷酸二氢钾)作为一种优质的非线性光学晶体,在惯性约束聚变固体激光驱动器等激光和光学领域都具有广泛应用,但是因其具有各向异性、质软、易潮解、脆性高、对温度变化敏感和易开裂等不利于材料加工的特点,使得KDP晶体的加工周期长、合格率低、质量不稳定,因此KDP晶体成为目前最难加工的晶体材料之一。目前常用的KDP晶体加工 方法中,无磨料抛光加工KDP会在表面嵌入磨...
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