技术编号:3260129
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于平板显示器的化学气相沉积装置,更具体而言,涉及如下一种用于平板显示器的化学气相沉积装置其中调整真空室内的抽吸位置,以使所述真空室内的压力分布均匀,因此提高对基板的沉积品质,并在结构上改良用于相对于所述真空室放入或取出基板的狭缝阀总成。背景技术平板显示器已被广泛用作电视机、计算机等的显示器、以及个人移动终端。存在各种平板显示器,例如液晶显示器(liquid crystal display ;LCD)、等离子体显示面板 (plasma dis...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。