技术编号：3260867
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜形成装置，特别是涉及能够对多个基板上的特定部分，高效地形成薄膜的薄膜形成装置。背景技术在数码相机和数码摄像机等摄影设备、便携电话、智能手机、便携游戏机等各种设备中，应用有在基板表面上形成薄膜的技术。并且，在这些设备上具备的基板，虽然有的是在基板整个面上形成有薄膜，但是有很多是仅在基板上的某特定的区域上选择性地形成有薄膜。如上所述，为了仅在基板上的特定的部分选择性地形成薄膜，应用了如下所述的技术在被配置于薄膜形成装置内的基板保持机构保持的基板上...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。