技术编号:3261422
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于将物质传输至处理室的传输系统,一种操作该传输系统的方法,以及包含这一传输系统的用于对制品表面进行等离子处理的设备。背景技术传输系统至今已知用于将来自高沸点液体的蒸汽传输并计量至真空室,以便在真空室内进行化学或物理处理。这种系统不很适合于液体是化学反应性单体的情况。 在一个已知的起泡器系统中,通过液体的载气泡,吸收蒸汽并将其传输至真空室。在一个已知的蒸发器系统中,产生足够高的蒸汽压(在I托的量级)以经由质量流量控制器将蒸汽传输至真空室。在蒸...
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