技术编号:3261736
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种制备纳米金刚石薄膜的方法,具体是一种制备纳米金刚石薄膜的辅助栅极热丝化学气相沉积法,用于镀覆。背景技术 随着CVD沉积金刚石薄膜技术的发展与成熟,纳米金刚石薄膜涂层技术迅速成为CVD金刚石膜研究领域的新热点。纳米金刚石薄膜晶粒非常细小,可达几个到几十纳米之间,比常规金刚石薄膜小两个数量级以上,表面极其光滑,表面粗糙度可在Ra100nm以下,薄膜摩擦系数很小,仅为0.03~0.06,远低于常规金刚石薄膜0.2~1.1。纳米金刚石薄膜的出现使...
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