技术编号:3262402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超精密加工领域的装置,具体涉及一种适用于大口径复杂光学镜面等硬脆难加工材料的精密研抛机器人系统。背景技术近年来,大口径复杂光学镜面在高分辨率对地观测卫星的光学相机、对天观测卫星、深空科学探测等领域的应用越来越广泛,但由于镜面材料的硬脆特性,其加工精度高、难度大、周期长,严重影响其应用。在光学镜面加工工序中,研抛(研磨、抛光)是衔接磨削以及后续磁流变等的重要工序,其加工效率和质量极大地影响镜面加工的质量和效率。不同于传统工业中的研抛加工,光学镜...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。