技术编号：3262469
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种小工具头抛光装置，尤其是涉及一种可调大偏心量公转箱体式气压施力数控抛光装置，属于超精密光学表面加工领域。背景技术近年来，新型光电成像系统日益呈现出大视场、高分辨率的技术发展趋势，从分辨率模型角度讲，要求光学系统中关键光学元件包括反/透射镜呈现出大口径、非球面、离轴、高精度的技术特点，从而对现有的光学加工装置提出了更高的要求，进而促动新型工具结构形式和工艺方法的开发。为了实施高精度光学反/透射镜的计算机数控研磨抛光，上世纪70年代初期，美国It...
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