技术编号:3262877
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涂层及其制备方法,特别是,属于陶瓷涂层。背景技术过渡族金属氮化物,如TiN,由于具有较高的硬度和耐磨性,并且耐腐蚀性能优良,不但可以作为耐磨涂层,模具和切削刀具的表面强化,而且在表面腐蚀和装饰的许多工业领域也有重要的用途。相比于TiN薄膜,ZrN薄膜具有化学及热稳定性高,硬度大,电阻率低,耐磨性好以及类似于黄金的金黄色等一系列优异的性能,因此,近年来ZrN薄膜的研究 日益受到重视。然而,随着制造技术的高速发展,尤其是高速切削、干式切削等工艺的...
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