技术编号:3263332
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种布线修复设备,用于修复在衬底上的布线的损坏部分,特别涉及一种布线修复设备,用于采用激光化学气相淀积(CVD)修复布线的断裂。背景技术 液晶显示器件(LCD)近年来已经迅速普及。这种趋势是被基于半导体薄膜晶体管(TFT)技术的LCD驱动的。有两种类型的TFT非晶硅(a-Si)TFT和多晶硅(poly-Si)TFT。这两种类型TFT具有相似的原理和结构。随着LCD近来变得越来越大,如短路和断裂的损坏在包括TFT及其周围部件的集成电路的布线中较频繁...
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