技术编号:3263634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及材料的表面处理,具体地说是一种多元金属掺杂无氢类金刚石薄膜的沉积制备方法。背景技术类金刚石薄膜作为一种新型的润滑薄膜材料,具有硬度高、摩擦系数小、耐磨寿命长等优异的性能,在苛刻环境中用作防护薄膜以及在精密器械、微机电系统、空间环境部件等相关领域用作润滑薄膜材料显示了巨大的应用前景。但由于同时它具有高的内应力、热稳定性差、环境依赖性强等缺陷,在实际应用中受到了很大的局限。采用现代技术制备的类金刚石薄膜主要分为含氢类和不含氢类两种,但是相对无氢类金刚...
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