技术编号:3264087
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学精密抛光装置,尤其是涉及对光学元件加工的电场致流变射流抛光装置,属于超精密光学表面加工领域。背景技术随着科学技术的不断发展,人们对光学元件的要求也渐渐提高,因此伴随着新的 抛光技术应运而生。19世纪80年,磨料水射流抛光技术(Fluid Jet Polishing,简称FJP)迅速发展起来;在抛光过程中,混合有磨料粒子的抛光液经高压泵加速后,以一定的速度从喷嘴喷出冲击工件表面,由于冲击作用抛光液柱沿径向散开,产生相对于工件表面的切向速度,...
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