技术编号：3264201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造设备，特别涉及一种衬底承载装置及应用所述衬底承载装置的金属有机化学气相沉积设备。背景技术自GaN基第三代半导体材料的兴起，蓝光LED研制成功，LED的发光强度和白光发光效率不断提高。LED被认为是下一代进入通用照明领域的新型固态光源，因此得到广泛关注；而金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备是生长LED外延片的重要设备。请参阅图1，图1是现有技术的一种MOCVD设备的剖面结构示意图。所述MOCVD设备I包括腔体11、设置于所述腔体11顶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。