技术编号:3264792
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种镀膜设备及方法,且特别是关于一种蒸镀设备及应用此蒸镀设备之蒸镀方法的发明。背景技术 近年来,由于光电技术与半导体制造技术之成熟,也带动平面显示器(Flat Panel Display)之蓬勃发展,其中等离子体显示器以其大尺寸、自发光、无视角依存、轻薄以及全彩化等优点而具有极大的应用潜力,可望成为下一代的平面显示器之主流。等离子体显示器是一种利用荧光材料(Phosphor)受到紫外线(Ultraviolet light)照射后,会发射可见光(...
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