技术编号:3266045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学气相沉积(简称CVD)金刚石涂层拉丝模制备技术,属冶金类金属材料镀覆领域,尤其是一种拉丝模具的微孔金刚石涂层装置。背景技术从事专业CVD气相沉积的技术人员均知道,CVD气相沉积法沉积金刚石薄膜生产工艺中,高温下的热丝变形烧伤工件内表面是一件很难克服的问题,例如中国专利ZL98110896. 2公开了一种金刚石涂层拉丝模,其采用一般的横向穿约法只适应于大孔径(Φ4. 00以上)的模具作表面涂层,但由于热丝要在高温下的自然下垂和抖动,虽然不至...
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