技术编号:32662280
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及气体提纯技术领域,尤其涉及一种双塔精馏制取高纯甲烷的装置。背景技术.高纯甲烷是指体积分数大于.%的甲烷气体。随着科技的发展,高纯甲烷在化工、冶金、电子、石油和航空等领域广泛应用,主要用于标准气、 校正气、 在线仪表标准气、催化剂的评价气。高纯甲烷气体也被逐步用于非晶硅太阳电池制造,大规模集成电路干法刻蚀和等离子刻蚀气的辅助添加气。.目前制取高纯甲烷大部分采用双塔精馏结合额外的制冷循环的方式,但此类方式大都具有能耗高、换热器设计难度大、系统复杂度高以及系统调节灵活性差等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。