技术编号:3266583
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种镀膜用的蒸发材料,特别涉及一种用于电子束蒸发镀膜的新结构的蒸发材料。背景技术真空蒸发镀膜是真空镀膜技术中发展最早应用最广的一种,蒸发热源由原来的电阻式加热发展为电子束轰击、高频感应和激光等方式。电阻式热源实质是一个电阻加热器,在真空环境下将蒸发材料加热到气化温度进行蒸发镀膜。而电子束加热原理是基于电子在存在电位差的电场作用下,获得动能打到蒸发材料上,使材料加热汽化实现蒸发镀膜。电 子束热源的优点首先在于能够获得比电阻热源更大的能量密度,可...
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