具有腔的集成的颗粒物质传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:32666684

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.本发明涉及颗粒物质传感器和包括颗粒物质传感器的颗粒物质传感器模块。背景技术.颗粒物质(pm)是指流体中的固体颗粒和/或液滴。pm可能在例如被吸入时造成健康风险,或者可能导致被称为雾霾的能见度不良。pm的典型类别是pm和pm.,即直径分别为μm和.μm的颗粒,以及更小的颗粒。.常规的pm传感器模块包括将光发射到检测体积中的光源和检测由检测体积中的颗粒物质散射的光的光检测器。常规的pm传感器模块由分立部件即带有激光二极管的光源组件、光学元件、光电探测器、印刷电路板(pcb)、...
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