技术编号:3267047
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于等离子体化学气相沉积的装置,其中在玻璃基管内部沉积一层或多层掺杂或未掺杂层,该装置包括具有内壁和外壁的涂覆器和通向涂覆器的波导管,该涂覆器沿着圆筒轴延伸并且具有接近内壁的通道,微波通过该通道离开,该基管可以置于圆筒轴上,并且其中至少一个长度为L宽度为b的环形扼止部件放置在涂覆器内圆筒轴的中心。本发明进一步涉及一种制造预制体的方法,该方法包括用等离子体化学气相沉积法在玻璃基管内部沉积一种或多种掺杂或未掺杂层,以及随后使如此形成的基管热塌缩,...
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