技术编号:3267049
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种表面纳米组装膜的生产装置,特别是一种应用于材料表面膜层制备行业中,利用多种离子源、等离子体源发生设备在特定环境中在各种材料的表面制备应用性能优越的膜层,能够满足先进膜层制造要求的表面纳米组装膜的生产装置。背景技术 在众多行业中,经常需要对零部件、产成品的表面进行镀膜处理,改变其表面的物理-化学性能,以期达到较佳的使用效果。例如,金属切削刀具、模具内腔表面、工装夹具、医用工具、人造器官、产品外壳等。各种材料制造的工具或产品通过在其表面制备具有特...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。