技术编号：3267681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机。背景技术真空电弧镀膜机是利用阴极电弧蒸发源蒸发靶料生成等离子体沉积在镀件表面从而完成镀件镀膜的一种设备。一般大型立式的不锈钢板真空电弧镀膜机包括具有圆柱形炉壁的炉体，炉体上端面上设有真空密封件，炉体上方设有炉盖、下方设有支架，炉壁上均匀布置有多个电弧源。炉体内部设有测温热电偶、工作气体和反应气体的布气管、多支加热管等。炉壁一般采用双层式结构，分为内炉壁和外炉壁，内、外炉壁之间具有空隙，用于流通冷却水。内炉...
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