技术编号:3267800
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关于ー种气体喷洒头,且特别是有关于ー种具有对称分布的进气孔,应用于LED的有机金属化学气相沉积(MOCVD)外延的气体喷洒头。背景技术随着镀膜エ艺的发展,在化学气相沉积的反应过程中,如何将气体均匀地喷洒到腔室中便成为重要的问题。对此,气体分布模块(gas distribution module),特别是气体喷洒头(gas showerhead)扮演了重要的角色。针对气体分布模块或气体喷洒头的设计与结构,已经有数件专利提出。美国专利US 713...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。