技术编号:3267834
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关于一种气体喷洒模块,且特别是有关于一种具有气体分布板,能使气体更均匀地喷出的气体喷洒模块。背景技术随着镀膜工艺的发展,在化学气相沉积的反应过程中,如何将气体均匀地喷洒到腔室中便成为重要的问题。对此,气体喷洒模块(gas shower module),特别是气体喷洒头(gas showerhead)扮演了重要的角色。针对气体喷洒模块或气体喷洒头的设计与结构,已经有多种专利提出。美国专利US 7138336B2与美国专利US 7641939B2...
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