技术编号:3268450
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种基于导热油蒸发机制的蒸发器。背景技术由于具有高沉积速率和大沉积区面积的优点,金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)是制备高质量的REBa2Cu307_s (RE即Rare Earth,代表Y,Sm, Gd及其他稀土金属元素)高温超导薄膜涂层导体材料的首选エ艺之一。MOCVDエ艺中采用的金属有机源,以M(TMHD)x(M=Y, Ba, Cu,等)为代表,往往由于金属离子的不同,其蒸发、升华和分解温度有很大的区別。为了避免由于各金属有机源的蒸...
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