技术编号:3268971
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种磁性流体真空轴封的轴芯结构,由将该轴芯主体轴径加大加长进而可加装一个以上轴承轴承(又称培林),让使用者可将此轴芯主体应用于溅镀设备上,以分散因溅镀设备运转时所产生的重负荷,而达到提升轴芯主体的使用寿命并降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的的磁性流体真空轴封的轴芯结构。背景技术派度技术的原理主要是利用辉光放电(glowdis-charge)将U1气(Ar)离子撞击革巴(tar-get)表面,靶材的原子...
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