技术编号:3270030
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种偏摆式平面固着磨料的研磨装置,属机械加工领域。背景技术目前国外针对高精密平面研磨技术已发展到很高的水平,最高的精度指标已达到几十个纳米。甚至光学级,此方面的工艺装备、研抛工艺配方等也非常昂贵。而国内,在此类生产工艺的设备精度在(O. 003 O. 005/200X200) mm,与国外存在着较大的差距,同时该类研磨设备还存在结构复杂,体积大,投资大,易受到装夹、调整等限制,不适用于外形较复杂零件的研磨的不足,严重置于了我国高精度零件的生产...
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