技术编号:3272278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种可用于真空蒸发、溅射镀膜的加热器。背景技术在真空镀膜过程中,对粉末状有机物及有机金属鳌合物(如Znq2)等材料蒸发时,目前通常是将钨丝缠绕在烧杯上做蒸发加热源或者用钼舟做蒸发加热源容器。在实际操作中,以上两种方法遇到了这样的困难前者由于烧杯的导热性差,用钨丝直接缠绕加热时烧杯容易破碎,同时烧杯口径大,每次蒸发到样片上的材料不到30%;后者由于钼舟直接接触粉末状材料,在高真空下材料会进溅出钼舟,附着在样片表面,不能形成理想的薄膜。此外,传统的...
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