技术编号:3273486
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于一种金属材料化学热处理装置,更具体地说它是一种辉光离子氮化炉真空炉体压力闭环自动控制装置。背景技术辉光离子氮化炉在渗氮过程中,炉内压力参数是非常重要的。压力的高低将直接影响被氮化零件的氮化质量和零件局部温度及炉内整体均匀性。压力控制不好可直接导致恶性事故,使氮化零件“跑温”,长时间超温可使零件基体硬度降低,甚至造成零件局部熔化。现有氮化炉内压力调节控制通常的做法是通过手工调节安装在抽气管道上的高真空蝶阀的开启角度,即在通入真空炉体内渗氮气体流...
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