薄膜形成装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3275033

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本实用新型涉及薄膜形成装置,特别涉及在真空槽内具备基板保持部件的薄膜形成装置。背景技术近年来,如平板电脑、PC (个人电脑)、平板电视机及智能手机等,利用光学薄膜的技术涉及多方面。与此相伴,对于在方形基板、特别是大型方形基板形成抗反射膜或抗污膜的镀膜技术的需求提高。另一方面,作为镀膜方法,已知有蒸镀法和溅镀法,采用这些方法的镀膜处理通常在将基板安装于真空槽内的状态下进行。当在真空槽内的预定位置保持基板时,使用了支架或夹具等保持部件,但出于提高在基板形成的薄...
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