技术编号:3275036
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置,为禁断供应晶圆研磨液产出当中,任一过滤器阻塞换新后,能自动对清洗换上新过滤器内部回补注压晶圆研磨液,让研磨液供应不会产生整体系统压降保持供应流量及供应压力稳定的新颖自动化结构技术。背景技术由于研磨晶圆用的晶圆研磨液非长久的时间不流动就会凝固损坏,因此供应晶圆研磨液的供应晶圆研磨液供应系统需24小时持续供应,又系统混成晶圆研磨液过程中,一经混酸完毕后会传送至晶圆研磨液供应槽,再泵送到过滤器模组过...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。