技术编号:3275506
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种薄膜形成装置,特别涉及一种在基板上形成防污膜的薄膜装置。背景技术提出了一种采用离子辅助蒸镀装置来形成用于防止显示面板等变脏的防污膜的技术(例如,参照专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文件1日本特开2010-90454号公报(0029,0056 0066,图1,图2)专利文献I的蒸镀装置在真空装置内具备浅圆顶状的基板架;以面对基板架的内表面的方式配置于基板架的下方的离子枪;以及配置于该离子枪的两侧的一对蒸发源。专利文献I的形成防污膜的方...
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