技术编号：3276200
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧本发明属于溅射靶材制造，涉及一种旋转靶材的靶材材料和金属背管之 间的帮定的筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧。背景技术旋转靶材具有溅射使用率高、较少的电弧等优点，而日益受到人们的关注，越来越 多的运用到真空镀膜领域。旋转靶材通常需要帮定在金属背管上，以提高导热性能。目前 旋转靶材的制作方法是以单节靶材帮定于金属背管获得的，单节靶材和金属背管之间是通 过金属铟或银连接。上述这种帮定方式由于需要使用大量的金属铟或银填充靶材...
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